Корпорация E-Globaledge

XRTmicron

Анализ дислокаций методом рентгеновской томографии

XRTmicron от компании Rigaku это высококлассный рентгеновский томограф, анализирующий топографию поверхности в высоком разрешении, предназначенный для формирования изображения дислокаций без необходимости в разрушении образца. Изображения различных типов дислокаций и другие несовершенства структуры монокристаллических пластин (например Si, SiC, Ge, GaAs, кварц, сапфир, рутил, фторид кальция и т.д.) могут быть сформированы в пределах пластин величиной до 300 мм в диаметре. Рентгеновская топография широко распространённый метод анализа дислокаций, как для научных исследований, так и для разработок и процессов контроля качества продукции производителями монокристаллов, пластин и других устройств.

imgonline_com_ua_Resize_mm_Qh_Z4ky_Ob3_Zv

Высокая производительность топографического анализа

Несравнимая скорость сканирования, на порядок превышающая скорость традиционных систем, достигается за счет объединения высоко-яркого двух-длинноволнового рентгеновского источника – MicroMax-007 DW и рентгеновских оптических зеркал, оптимизированных для топографического применения. Оба рентгеновских источника – Cu и Mo, и их зеркала, одновременно установлены в систему. В зависимости от требований и пользовательских задач, переключение между рентгеновскими источниками для выполнения просвечивающих измерений или измерений на отражение может быть выполнено без каких либо юстировок системы. Цифровое изображение дислокаций захватывается либо CCD камерой высокого разрешения (пиксель 5,4 мкм), либо камерой ультра-высокого разрешения (пиксель 2,4 мкм). Обе камеры могут быть одновременно установлены на систему, и использоваться отдельно в зависимости от требуемого разрешения и качества изображения.

Полностью автоматизированный процесс рентгеновской топографии

Разработанный для удобства и простоты в эксплуатации, весь процесс сбора данных, включая переключение между анодами, переключение между детекторами, переключение и юстировка оптики, юстировка положения образца и запись полученных изображений – полностью автоматизирован. Кроме этого, система совместима с устройством автоматической подачи пластин и системой подсчета дислокаций, основанная на программном обеспечении распознавания изображений. Так же, в систему могут быть встроены индивидуальные инструкции для полной автоматизации процесса - начиная от загрузки пластин и заканчивая отчетом с содержанием плотности дислокаций.

Главные особенности:

Высоко-яркий двух-длинноволновый рентгеновский источник MicroMax-007 DW;
CCD детектор высокого разрешения: XTOP (размер пикселя 5,4 мкм);
CCD детектор ультра-высокого разрешения: HR-XTOP (размер пикселя 2,4 мкм);
Горизонтальное расположение образца для минимизации искусственных напряжений в пластине;
Автоматическая корректировка кривизны пластины для улучшения качества изображения дислокаций;
Полностью автоматизированный процесс работы: переключение между рентгеновскими источниками, переключение между детекторами, установка и юстировка оптики, юстировка положения образца и сбор данных;
Автоматический анализ дислокаций по изображениям;
Поддержка различных размеров пластин: 3, 4, 6, 8 и 12 дюймов;
Совместим с устройством автоматической подачи пластин.