Волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр ZSX Primus 400
Уникальный спектрометр от компании Rigaku ZSX Primus 400 был специально разработан для работы с массивными и/или тяжелыми образцами. Вмещая образцы диаметром до 400 мм, толщиной до 50 мм и массой до 30 кг, эта система идеально подходит для анализа распыляемых мишеней, магнитных дисков, метрологии многослойных пленок или элементного анализа крупных образцов.
ZSX Primus 400
РФА с системой индивидуального держателя образца
Обладая гибкостью к адаптации к Вашим специфическим задачам и размеру образцов, данный спектрометр подходит для великого множества размеров и форм образца при использовании опционального (выполняется под заказ) вставного держателя.
Варьируемое измерительное пятно (с диаметром от 30 до 0,5 мм с 5-и ступенчатым автоматическим переходом) и возможность картографирования элементного состава для проверки однородности состава образца, делают ZSX Primus 400 ультра гибким инструментом, способным значительно упростить Ваши процессы контроля качества.
РФА с обозревательной камерой и специальным освещением
Опционально устанавливаемая камера позволяет в режиме реального времени наблюдать за анализируемой областью в окне программного обеспечения. Оператор может быть на 100 % уверен в том, что он измеряет.
Традиционные аналитические возможности ВДРФА
Все привычные для Вас по линейке приборов Primus аналитические возможности сохранились в этой версии «большого образца». Элементный анализ с высоким разрешением от бериллия до урана, высокоточная флуоресцентная спектроскопия любых образцов: твердых, жидких, порошковых и тонких пленок. Анализ элементного состава в широком диапазоне (от нескольких ppm до десятков %) и толщины (от Å до мм). Опционально, доступна функция подавления дифракционных пиков, для оптимальных результатов для монокристаллических подложек. Волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр ZSX Primus 400 полностью соответствует промышленным стандартам SEMI и CE.
Главные преимущества:
Анализ очень массивных образцов диаметром до 400 мм, толщиной до 50 мм и весом до 30 кг;
Гибкая система держателя образца адаптированная для образцов различных форм и размеров;
Измеряемое пятно образца может меняться от 30 до 0,5 мм;
Картографические измерения точечного элементного состава;
Анализ элементов от бериллия (Be4) до урана (U92) в широком диапазоне от ppm до десятков процентов;
Опционально доступно решение для подавления дифракционных отражений для монокристаллических подложек;
Полная совместимость с промышленными стандартами SEMI и CE;
Габариты прибора уменьшились на 50 % в сравнении с предыдущей версией;
Охватывает широкий диапазон областей применения в сфере микро и нано электроники.
Примеры возможных областей применения ZSX Primus 400
Определение состава распыляемых мишеней;
Изоляционные пленки: SiO2, BPSG, PSG, ASSG,Si3N4, SiOF, SiON, и т.д.;
Пьезоэлектрические и Ферро-диэлектрические пленки: PZT, BST, SBT,Ta2O5, HfSiOx;
Металлические пленки: Al-Cu-Si, W, TiW, Co, TiN, TaN, Ta-Al, Ir, Pt, Ru, Au, Ni и т.д.;
Электродные пленки: Легированные кремниевые (Легирующие элементы: B, N, O, P, As), аморфные кремниевые, WSix, Pt и т.д.;
Другие легированные пленки (As, P), с инертным газом (Ne, Ar, Kr, и т.д.), алмазоподобные (DLC) покрытия;
