TXRF 3760

Метод TXRF (рентгефлуоресцентная спектроскопия с геометрией полного внешнего отражения) позволяет определять уровень привносимой дефектоности для всех технологических процессов, включая мокрую химическую очистку, фотолитографию, плазмохимическое травление, термическую обработку (отжиг), нанесение пленок и т.д.

Спектрометр TXRF 3650 способен анализировать элементы в диапазоне от Na до U с помощью одной мишени, трехлучевой рентгеновской системы и твердотельного детектора.

Спектрометр TXRF 3650 содержит запатентованную систему перемещения координатного стола по направлениям XYθ, роботизированный механизм транспортировки пластины в вакууме и новое клиентоориентированное программное обеспечение. Все это способствует повышению производительности, точности и прецизионности, а также упрощению процедуру проведения рутинных измерений.

Опциональное программное обеспечение «Sweeping TXRF» позволяет оперативно проводить измерения в режиме картирования и строить карты распределения загрязнения по всей поверхности анализируемой пластины для определения «очагов загрязнения», которые в дальнейшем могут быть автоматически повторно измерены с более высокой прецизионностью.

Функция «ZEE-TXRF» нулевого отступа от края пластины снимает исторически сложившееся ограничение, созданное первоначальным дизайном TXRF спектрометров - проводить измерение не ближе 15 мм от края пластины и позволяет снизить этот параметр до нулевого значения.
 

Особенности и преимущества модели:

• Легкость в работе и быстрота получения результатов измерения
• Работа с пластинами диаметром 200 мм и меньше
• Компактный дизайн, минимальная занимаемая площадь в помещении
• Рентгеновский источник высокой мощности (9 кВт) с вращающимся анодом
• Широкий диапазон определяемых элементов (Na~U)
• Высокая чувствительность к легким элементам (Na, Mg, и Al)
• Возможность использования для кремниевых подложек и для подложек из других материалов (GaAs, сапфир и т.д.)
• Импорт координат из системы определения светорассеивающих дефектов для последующего определения их химического состава.